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壓力傳感器(變送器)用擴(kuò)散硅芯的技術(shù)特點(diǎn)

返回列表 來源:京儀股份 發(fā)布日期:2020-06-23 11:08

本文壓力傳感器(變送器)用擴(kuò)散硅芯的技術(shù)特點(diǎn)資料由優(yōu)質(zhì)變送器生產(chǎn)報(bào)價(jià)廠家為您提供。

 

擴(kuò)散硅芯是制造壓力傳感器和變送器的核心。作為一種高性能敏感元件,它可以很容易地放大并組裝成具有標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)輸出的發(fā)射器。廣泛用于石油、化工、冶金、電力、電子系統(tǒng)、航空航天、醫(yī)療、化工、汽車、機(jī)電設(shè)備等行業(yè)的過程控制。

壓力傳感器(變送器)用擴(kuò)散硅芯的技術(shù)特點(diǎn)

擴(kuò)散硅壓敏元件封裝在316L材料中,施加的壓力通過密封在內(nèi)部的不銹鋼膜片和硅油傳遞到敏感芯片。敏感元件不直接接觸被測(cè)介質(zhì),形成全固態(tài)結(jié)構(gòu)進(jìn)行壓力測(cè)量,因此適用于各種環(huán)境,包括惡劣的腐蝕性介質(zhì)環(huán)境。

壓力芯體外增加氟橡膠O型圈,壓力密封可靠,組裝方便。

產(chǎn)品特點(diǎn):進(jìn)口壓力芯片,高性能,固態(tài),高可靠性

壓力傳感器(變送器)用擴(kuò)散硅芯的技術(shù)特點(diǎn)

硅壓阻充油芯(擴(kuò)散硅壓力傳感器)的技術(shù)特點(diǎn);

1.高靈敏度

擴(kuò)散硅敏感電阻的靈敏度比金屬應(yīng)變片高5080倍,其滿量程信號(hào)輸出約為80-100mv。本發(fā)明對(duì)接口電路有很好的適應(yīng)性,相應(yīng)的應(yīng)用成本較低。由于其輸入激勵(lì)電壓低,輸出信號(hào)大,無機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件損耗,分辨率極高。

2.高精度

擴(kuò)散硅壓力傳感器的感覺、靈敏轉(zhuǎn)換和檢測(cè)一體化,轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)沒有機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件連接,重復(fù)性和遲滯誤差非常小。由于硅材料的剛性好,變形小,傳感器的線性度也很好,所以綜合測(cè)量精度很高。

3.高可靠性

擴(kuò)散硅敏感膜片的彈性變形量級(jí)為微應(yīng)變,膜片的最大位移量級(jí)為微米級(jí),沒有機(jī)械磨損、疲勞和老化。平均無故障時(shí)間長(zhǎng),性能穩(wěn)定,可靠性高。

4.高頻響應(yīng)

由于敏感隔膜硅材料本身的高固有頻率,其通常為50KC。制造過程采用集成工藝,膜片的有效面積可以很小,配合特殊的剛性結(jié)構(gòu)前置設(shè)計(jì),使得傳感器的頻率響應(yīng)很高,使用帶寬可以達(dá)到零頻率到100千赫。

5.良好的溫度性能

隨著集成技術(shù)的發(fā)展,擴(kuò)散硅敏感膜的四個(gè)電阻的一致性得到了進(jìn)一步提高。原有的手動(dòng)補(bǔ)償已被激光電阻調(diào)節(jié)和計(jì)算機(jī)自動(dòng)微調(diào)技術(shù)所取代。傳感器的零位和靈敏度溫度系數(shù)達(dá)到了10-5/℃

6.良好的耐電擊穿性

由于特殊的材料和組裝工藝,擴(kuò)散硅傳感器不僅能在130℃下正常使用,而且能在強(qiáng)磁場(chǎng)和高壓擊穿試驗(yàn)中抵抗1500伏/交流電壓的沖擊。

7.良好的耐腐蝕性

由于其優(yōu)異的耐化學(xué)腐蝕性,即使傳感器的承壓表面未被隔離,擴(kuò)散硅材料也能適應(yīng)各種常用介質(zhì)。硅材料與硅油具有良好的相容性,這使其在被防腐材料隔離時(shí)更容易實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)和工藝。結(jié)合其低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質(zhì)安全防爆,可替代多種同類型、同功能的產(chǎn)品,具有最佳的性價(jià)比。

 

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